研磨加工有着其它加工技术无可比拟的长处：研磨属于典型的“直接创造性加工”或者称为“进化加工”;即在工作母机上采取提高精度的措施(微量进给、低研磨速度、不断改变研磨运动方向等)直接加工出比工作母机精度更高的零件。这是因为当研具与工件接触时，在非超精密平面研磨划痕形成的建模与仿真强制性研磨压力作用下，能自动地选择局部凸出处进行加工，故仅切除两者凸出处的材料，从而使研具与工件相互修正并逐步提高精度。超精密研磨的加工精度与构成相对运动机床的精度几乎是无关的，主要是由工件与研具间的接触性质和压力特征、以及相对运动轨迹的形态等因素决定的。

 

　　此外研磨加工适应性好，可以加工各种金属材料、半导体材料、玻璃材料等固体材料，可以加工平面、孔、外圆和硅片基片等常见外形。超精密研磨是正在追求切削和磨削的加工效率，同时它本身具有切削和磨削达不到的加工精度和质量。研磨加工具有适合于大批量生产、设备简单、操作方便、加工精度高等特点

 

　　抛光是一个经常与研磨一起出现的概念。抛光是指用高速旋转的低弹性材料(棉布、毛毡、人造革等)抛光盘，或用低速旋转的软质弹性或粘弹性材料(塑料、沥青、石蜡、锡等)抛光盘，加抛光剂，具有一定研磨性质的获得光滑表面的加工方法。简言之，除磨料和研具材料的选择不同外，研磨和抛光无本质区别。抛光一般不能提高工件形状精度和尺寸精度。抛光通常使用的是1µm以下的微细磨粒，抛光盘常用沥青、石蜡、合成树脂和人造革、锡等软质金属或非金属材料制成，磨料对工件的作用力较小，不能使工件产生裂纹。人们习惯上把使用硬质研具的加工方法称为研磨，把使用软质研具的方法称为抛光。实际上在超精密加工领域中，超精密研磨和超精密抛光没有什么区别。